Японская Корпорация NTT создала электронно-лучевую (EB) систему литографии, позволяющую изготавливать сверхмалые трехмерные объекты диаметром в несколько нанометров.
В качестве образца работы системы был продемонстрирован самый миниатюрный глобус в мире - его диаметр всего 60 нанометров, произведенный по новой технологии - Nanofabrication. Ключевые особенности системы:
- Точность луча - до 10-нанометров.
- Двигатель, который вращает обрабатываемую заготовку вокруг двух осей с высокой точностью.
- Датчик высоты, который позволяет электронному лучу правильно фокусироваться. Допускаемая погрешность - менее 1-2 микрометров.
